Vakuumo panaudojimas
Pramoninis vakuumo panaudojimas siekia nuo mechaninio valdymo iki mikroscemų gamybos. Vakuuminiai reikalavimai taip plačiai keičiasi kaip ir patys daliniai vakuumo panaudojimo procesai. Nepakankamo lygio vakuume nuo 1 toro iki artimo atmosferiniam, tipiškai vakuumas naudojamas mechaniniam rankiniams procesams, vakuuminiam pakavimui ir formavimui, dujų modeliavimui, filtravimui, alyvų “išdujinimui”, vandeninių tirpalų koncentracijai, elektrinių komponentų impregnacijai, distiliacijai.
Žemesniame slėgyje, apie 10-4 toro, gali vykti daugelis metalurginių procesų, tokių kaip lydymasis, liejimas, lydymas, litavimas. Cheminiams procesams, tokiems kaip vakuuminė distiliacija ir sausas užšaldymas, taip pat reikia tokio vakuumo. Sausas užšaldymas plačiai naudojamas farmacijos pramonėje vakcinų ir antibiotikų paruošimui ir odos bei kraujo plazmos saugojimui. Maisto pramonėje plačiausiai naudojamas kavos pakavimui, taip pat daugeliui produktų, kurie gali būti saugomi be atšaldymo po sauso užšaldymo. Ši technika vis plačiau naudojama.
Slėgis iki apie 10-8 toro yra naudojamas kriogeninei (žemos temperatūros) ir elektrinei izoliacijai. Jis naudojamas lempų produkcijai, televizijos elektroninėm lempom, rentgeno lempom; dekoratyvinėms, optinėms, elektrinėms plonasluoksnėms dangoms; daugeliui spektrometrų nutekėjimo detektorių.
Plonasluoksnėse dangose metalas arba junginys yra garinamas aukštame vakuume iš šaltinio ant materialaus pagrindo. Materialus pagrindas paprastai yra dekoratyvinėms dangoms – plastikas, optinėms dangoms – stiklas, elektrinėms dangoms – stiklo keramika arba titnagžemis (silica). Dangos storis gali būti nuo ¼ matomos šviesos bangos ilgio iki 0,001 colių ir daugiau. Optinėje srityje antirefleksinės dangos yra nusodinamos ant lęšių kameroms, teleskopams, akiniams ir kitiems optiniams prietaisams, žymiai sumažinant šviesos kiekį, atspindimą lęšiais, ir taip gaunant ryškesnį vaizdą.
Kad pasiekti pakankamai aukštą vakuumo lygį, reikalingą plonasluoksnėms dangoms ir kt., naudojama siurblių sistema, susidedanti iš alyva varomo rotacinio siurblio ir difuzinio siurblio. Alyva varomas rotacinis siurblys (kartais vadinamas priešakiniu siurbliu) sudaro darbinėje kameroje slėgį apie 0,1 toro, po kurio vožtuvas yra uždaromas. Priešakinis vožtuvas ir aukšto vakuumo suardymo vožtuvas yra atidaromi, taigi kamera yra ištuštinama difuziniu siurbliu ir rotaciniu siurbliu.